bilz升级版主动隔振系统

BILZ在斯图加特市普朗克固体研究所的高精度实验室的新型空气弹簧隔振装置的安装。振动隔离安装目的是11 个测量室中11 个基础的环境振动隔离。特点是在空间变得越来越小,从而产生了对所使用设备的高要求。某些因素可能只发生在特别实验室,需要将外部干扰减少到最小限度。本文介绍了如何实现这样的实验室隔振。对隔振的目的和目标是11 个洁净室与独立基础的振动。6 种不同类型的基础和安装在它们之间的敏感设备其质量介于110 至160 吨之间。

独立的基础的垂直固有频率为约1 Hz。相应的水平固有频率不超过约2 Hz。阻尼比应根据垂直和水平的固有频率,大约ζ= 0.1 并在此区域尽可能是可调节的。一个特别重要的要求是空气弹簧元件是非磁性材料制造。

BILZ 设计的空气弹簧的类型BiAir® 由铸铝本体及各部件的气动控制都是非磁性材料此外,空气弹簧是从房间外面用开关控制(主动=水平控制ON/被动=水平控制OFF),以及一个独立的气动系统进行监测和操作。频率有关的空气弹簧特性以及基础块的振动水平是由Müller-BBM (NL BFB Stuttgart) GmbH 独立检测.

未来这个隔振基础块上试验,测量时长可能会高达100 小时,在此期间,相关测量室的关闭和操作,不需要人也不需要主动冷却和通风。在这个测量周期内,空气弹簧元件由关闭阀操作,无需气动位置操作。然而,有一个系统监测基础块,包括显示水平位置和错误信号。

根据IESTRP-CC-121,在 曲线的VC-E 曲线下256 倍,该级别相当于0.012 微米/秒,8-100赫兹的频率范围内1/3 倍频带速度谱VC-M 线的速度常数,此图测量结果(垂直方向) 在基础块上MPI 振动速度约3 Hz 以上VC-M! 对于BILZ升级版主动隔振系统用户表示非常满意。



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